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Park NX10 帕克原子力顯微鏡

核心參數

  • 儀器種類 原子力顯微鏡
  • 樣品臺移動范圍20mm*20mm
  • 樣品尺寸直徑≤50mm, 厚度≤20mm
  • 定位檢測噪聲X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm
  • 產地類別 進口儀器

帕克原子力顯微鏡

  • 營業執照已審核
  • 品牌性質生產商
  • 銀牌會員第5年
  • 信用積分1300
  • 反饋速度21-24小時
  • 同類儀器12臺
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Park NX10 帕克原子力顯微鏡 產品介紹 相關資料 相關新聞 用戶評論

產品介紹

納米科學研究的至上選擇

 

 

更好的精度,更準的數據

 

Park NX10為您帶來最高納米級分辨率的數據,值得您信賴。它是全球唯一一個真正非接觸式原子力顯微鏡,在延長探針使用壽命的同時,還能良好地保護您的樣品不受針尖損壞。獨立的XY掃描器平板掃描器和Z掃描器可帶來無與倫比的精確度和分辨率。

 

更好的精度,更高的效率

 

隨著我們創新性操作軟件Park SmartScan™的投入使用Park NX10具備了比以往更快更簡單的設置和最優化的數據采集。 Park SmartScan智能模式下您只需點擊三下鼠標即可快速得到高質量的納米級分辨率圖像,而手動模式更是為經驗豐富的研究者的需要提供自定義的工作流程所需的全部功能。

 

更好的進度,更佳的研究

 

在獲得更好數據的同時又節省了寶貴的時間,您可以更加專注于創新領域研究工作。即便是最為特殊的應用, Park NX10憑借著眾多的測量模式和可定制化設計滿足您的所有需求。

 

Park NX10

凝結著最具創新的AFM技術

 

1.        掃描范圍為50 μm x 50 μ2D掃描器

XY軸掃描器有對稱的二維高強度壓電疊堆。它可為進行精確的納米級樣品掃描,提供基本的面外高效正交運動和高響應能力。Park NX10的這種緊密剛硬的構造具備低噪聲高速的伺服響應能力。

      

 2. 高速Z軸掃描器,掃描范圍達15 μm

借助高強度壓電疊堆和撓性設計,標準Z軸掃描器的共振頻率高達9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸最大掃描范圍可從標準的15 μm擴展至30 μm(可另選Z掃描頭)。

      

 3. 低噪聲XYZ位置傳感器

行業領先的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

 

 

4.   驅動XY軸樣品臺

XY軸樣品臺是驅動化的,以便于將樣品導航并定位到掃描區域。這種驅動臺在這兩個軸上的分辨率同為0.6um(使用微步)

 

5. 自動步進掃描

 

借助驅動樣品臺,步進掃描可編程多區域成像,以下是它的工作流程:

1.   掃描成像

2.        抬起懸臂

3.        移動驅動平臺到設定位置

4.        進針

5.        重復掃描 該自動化功能可大大減少掃描過程中手動需求,從而很大程度上提高生產力。

操作方便的樣品臺

6.        Park NX10的獨特頭部設計可使用戶從側面操作樣品和探針,用戶在樣品臺上可放置的最大樣品體積為50mm× 50mm×20mm(長×寬×高)。

 

7.        高級掃描探針顯微鏡模式和選項的擴展槽

只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計,其生產線設備兼容性得到大大提高。

 

 

8.        結合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡

超長工作距離的定制物鏡(工作距離50mm, 數值孔徑0.21,分辨率1.0 μ)帶來前所未有的鏡頭清晰度。直視同軸設計使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標區域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

 

 

9.        滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式

您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置,同時與復位精度為幾微米的電路系統相連接。借助于相關性低的SLD,顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。

 

 

10.    垂直調節驅動的Z平臺和聚焦平臺

驅動Z平臺和驅動聚焦平臺可使懸臂檢測樣品表面并為用戶持續提供清晰的圖像。用戶通過軟件界面進行操控,由高精度步進電機帶動,即使是透明樣品或液池應用中都可簡單操作。

 

靈活性,伸縮性高,可滿足各種需求

 

NX系列有適合大眾化的各種掃描模式,能滿足您的所有研究需求。

 

標準成像

真正的非接觸模式 AFM 

接觸模式AFM

側向力顯微鏡 LFM)

相位成像

間歇式(輕敲式)AFM

 

電性能

導電AFM

I-V譜線

掃描開爾文探針顯微鏡 SKPM/KPM)

高電壓SKPM

掃描電容顯微鏡 SCM)

掃描電阻顯微鏡 SSRM)

掃描隧道顯微鏡 STM)

掃描隧道光譜 STS) 

時間分辨的光電流測繪 Tr-PCM)

 

Magnetic Properties  磁性能

磁力顯微鏡 MFM)

可調外加磁場MFM

 

化學性能

功能化探針的化學力顯微鏡

電化學顯微鏡(EC-STMEC-AFM)

 

熱性能

描熱感顯微鏡(SThM)

 

 

 

光學性能

探針增強拉曼光譜 (TERS)

時間分辨的光電流測繪 Tr-PCM)

 

介電/壓電性能

靜電力顯微鏡 EFM)

動態接觸式靜電力顯微鏡(DC-EFM)

壓電力顯微鏡 PFM)

高電壓PFM

 

機械性能

力調制顯微鏡 FMM)

納米壓痕

納米刻蝕

高電壓納米刻蝕

納米操縱

壓電力顯微鏡 PFM)

 

 

力測量

力-距離(F-D)光譜

力-體積成像

熱噪聲法標定彈性系數

 

1.高樣品   1.5 μm臺階高度

掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

 

2.平樣品 藍寶石晶圓的原子臺階

0.3nm臺階高度,掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

 

3.硬樣品 鎢膜

掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

第一張圖,

掃描第15張圖之后

 

4. 軟樣品 膠原原纖維

掃描模式:非接觸模式,Z位置傳感器形貌圖

形貌圖,相圖

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Park NX10 SICM 模塊

Park NX10 的新硬件模塊有可以掃描離子電導顯微鏡的功能。

XY掃描器

10 μm x 10 μm XY 掃描器

50 μm x 50 μm XY 掃描器

100 μm x 100 μm XY 掃描器

Z掃描頭

15 μm Z 掃描頭

30 μm Z 掃描頭

光學變焦從側面進入

 

                

控溫臺

 

冷熱臺(0 ~180 oC)

250 oC 加熱臺

600 oC 加熱臺

液體池

通用型液池

電化學池

開放式液池

 

專門為液體環境成像設計

耐常見緩沖液及弱酸堿腐蝕

在液體環境下實現接觸和非接觸成像

 

夾式芯片載體

可用于未裝載懸臂

可用于導電式AFMEFM的針尖偏壓功能

針尖偏壓范圍:-10V-10V

 

磁場發生器

施加外部磁場,平行于樣品表面方向

可調磁場強度

強度范圍:-300-300高斯

由純鐵芯和雙螺線管組成

 

溫控隔音罩

易于使用的控件-使Park NX10可以快速達到溫度平衡

快速掃描-可以達到低于0.05 oC的恒溫并在十秒內關閉隔音罩的隔聲門。

 

 

 

 

 

Park NX10 規格

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍:15μm(可選 30μm)

分辨率:0.015 nm

位置探測器噪聲:0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

共振頻率:> 9 kHz (通常10.5 kHz AFM測頭

SICM測頭

壓電疊堆的撓性結構

Z掃描范圍:25 μm

位置探測器噪聲:0.03 nm (帶寬: 1 kHz)

XY 掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍:50 μm × 50 μm (可選 10 μm × 10 μm or 100 μm × 100 μm)

分辨率:0.05 nm

位置探測器噪聲:< 0.25 nm (帶寬: 1 kHz)

離面運動:< 2 nm (掃描超過40 μm)

 

驅動臺

樣品容量:最大開放空間為100 mm x 100 mm,厚度最大值為20mm

品重量:最重500g

XY位移臺行程范圍:20 mm x 20 mm

Z位移臺行程范圍:25 mm

聚焦樣品臺行程范圍:15 mm

影像

樣品表面和懸臂的直觀同軸影像

視野:480 μm × 360 μm (10倍物鏡)        

CCD: 1 Mpixel (像素分辨率: 0.4 μm)        

5 Mpixel (像素分辨率: 0.2 μm)

物鏡

10 (0.21NA) 超長工作距離鏡頭(1μm分辨率)

20 (0.42NA) 高分辨率,長工作距離鏡頭(0.6μm分辨率)

          

電子

信號處理

ADC: 18 通道

ADC通道 (64 MSPS)

24-bit ADC X, Y Z 掃描器位置傳感器

DAC:11通道

DAC通道(64MSPS))

20-bit DAC X, Y Z 掃描器定位

最大數據量:4096 x 4096像素

集成功能

3通道數字鎖相放大器

彈性系數校準(熱方法)

數據Q 控制

連接外部信號

20個嵌入式輸入/輸出端口

5TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation,and AC bias

 

選項/模式

標準成像

實際非接觸模式

接觸模式

側向摩擦力顯微術 (LFM)

相位成像模式

輕敲模式

化學性能

功能化探針的化學力顯微鏡

電化學顯微鏡(EC-STMEC-AFM)

介電/壓電性能

靜電力顯微鏡

動態接觸式靜電力顯微鏡(EFM-DC)

壓電力顯微鏡 (PFM)

高電壓PFM

力測量

力-距離(F-D)光譜

力譜成像

磁性能

磁力顯微鏡 (MFM)

可調MFM

熱性能

掃描熱顯微鏡(SThM)

電性能

Pinpoint 導電AFM (CP-AFM)

I-V譜線

掃描開爾文探針顯微鏡 (SKPM/KPM)

高電壓SKPM

 

QuickStep掃描電容顯微鏡(SCM)

掃描電阻顯微鏡(SSRM)

掃描隧道顯微鏡(STM)

掃描隧道光譜(STS)

光電流測繪(PCM)  

機械性能

 

Pinpoint模式

力調制顯微鏡(FMM)

納米壓痕

納米刻蝕

高電壓納米刻蝕

納米操縱

 

 

軟件

Park SmartScan

AFM系統控制和數據采集的專用軟件

智能模式的快速設置和簡易成像

手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

 

 XEI

 AFM數據分析軟件

 獨立設計——-可獨立安裝和分析數據

 能夠生成采集數據的3D繪制

 

 配件

 手套箱

  磁場發生器

  溫控隔音罩


相關資料

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帕克原子力顯微鏡

儀信通銀牌會員5年

常用搭配

  • 電子束刻蝕 |
  • 掃描電鏡 |
  • 納米壓痕儀

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